В литературата са дадени различни механзми на пробива в твърд диелектрик, но при пробива в твърди диелектрици наред с електрически, електротоплинен, и електрохимичен пробив са възможни даже йонизационен, електромеханичен и електротермичен механизъм на пробива. В чиста форма нито един от механизмите на пробив при твърд диелектрик не се изпълнява самостоятелно.